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                          氮氣烘箱,掩膜板烘箱

                          氮氣烘箱,掩膜板烘箱

                          簡(jiǎn)要描述:

                          氮氣烘箱,掩膜板烘箱在掩膜版的生產(chǎn)制造過(guò)程中,掩膜版基板在光阻涂布后會(huì )有一個(gè)烘烤的環(huán)節,又稱(chēng)為前烘。

                          氮氣烘箱,掩膜板烘箱使用工藝

                                在掩膜版的生產(chǎn)制造過(guò)程中,掩膜版基板在光阻涂布后會(huì )有一個(gè)烘烤的環(huán)節,又稱(chēng)為前烘。目的是用加熱蒸發(fā)的方式祛除掩膜版上光阻中多余的溶劑,增強光阻與掩膜版基板之間的粘附力,并使光阻起到固化的作用;同時(shí),涂覆光阻后的掩膜版在曝光顯影后也需要做顯影后烘,目的是祛除掩膜版上多余的水分、殘留溶劑和消除駐波效應。


                               掩膜版制作工藝,包括如下步驟:S1、涂膠:提供一光學(xué)高分子PC復合板材,在所述光學(xué)高分子PC復合板材表面旋涂抗反射中性密著(zhù)層,在所述抗反射中性密著(zhù)層上旋涂中性UV光刻膠;S2、光刻:通過(guò)光刻直寫(xiě)掩膜機對中性UV光刻膠進(jìn)行激光曝光;S3、顯影:將光刻后的光學(xué)高分子PC復合板材置于一顯影槽進(jìn)行浸泡顯影,所述顯影槽內設有顯影液;S4、堅膜。

                          氮氣烘箱,掩膜板烘箱性能

                          全周激光滿(mǎn)焊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機臺本身產(chǎn)生微塵;

                          采用特殊風(fēng)道,水平送風(fēng),溫度均勻性佳;

                          可定值運行,多段程序運行;

                          設備采用雙腔室一體設計,獨立控制,節省空間;

                          溫度范圍: RT+10~200、300/400℃;

                          溫度均勻度:≤±1.5℃;

                          潔凈度:class100/1000,適用潔凈間;

                          設備尺寸:定制

                          計時(shí)功能:0~ 99H99M可調,到溫計時(shí),計時(shí)完成蜂鳴并停止加熱;

                          降溫方式:可選配

                          保溫材料:超細陶瓷纖維;

                          隔 板:1-10層,;

                          溫度測量傳感器:高精度鉑電阻;






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